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回收多晶硅铸锭炉+南京秦淮控制屏回收的公司

发布:2024/5/5 16:10:46 来源:shxj365
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且可减少热 能及氩气消耗的直拉式单晶生长炉。实现本发明目的的技术方案是一种直拉式单晶生长炉,其包括 氩气输入管,与氩气输入管相连通的环形气体分布器,其特征在于经氩 气输入管输入 Pa,氩气流量为 30L/min。上述技术方案中。本发明的目的是一种易于及时排出炉内的混合气体发明内容还包括设于直拉式单晶生长炉的坩埚支持器下方和 该部的排气口之间的气流导向装置以防止 因该中轴孔与石墨中轴之间的间隙而漏气抗氧化(2)本发明 的直拉式单晶生长炉中整个炉内的一氧化硅与氩气的混合气体(包 括坩埚支持器下方的混合气体)能通畅地排出炉外本发明的气流导向装置的一对通气孔与该炉的 一对排气口相 对设置,缩短了排气管路,利于提高排气效率。北京京运通,浙江晶盛,北京京仪,常州华盛天龙,常州江南电力,宁夏晶阳,美国KEYEX,西安理工,温州永泰,中电48所,北京有色院,晨华,锦州电炉,沈阳麦科,华盛天龙。汉虹单晶硅炉品牌种类:85型华盛天龙单晶炉晶盛机电,汉虹,晶龙,西安理工,七星华创,创联,祺科,永泰,世宗,江南电力等品牌单晶炉。

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直拉法,也叫切克劳斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克劳斯基建立的一种晶体生长方法,用直拉法生长单晶的设备和工艺比较简单,容易实现自动控制,生产效率高,易于大直径单晶,容易控制单晶中杂质浓度,可以低电阻率单晶。据统计,上硅单晶的产量中70%~80%是用直拉法生产的。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,炉筒升降采用丝杠提升技术,简便干净。特点编辑HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动。便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计。即可满足转动所需的扭矩,又可实现转速的控制。质量流量计控制氩气流量。自主产权的控制软件采用视窗,操作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具了工艺实时的。可靠性高,抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选,保控温精度。质量流量计控制氩气流量。维护方便全自动控制系统采用模块化设计高精度真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。

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