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其包括氩气输入管,与氩气输入管相连通的环形气体分布器,其特征在于经氩气输入管输入的氩气气压为0.8×103Pa0.9×103Pa,氩气流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置,其包括中轴孔,一对电极孔,以及与排气口相对的通气孔,石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔。本发明了一种直拉式单晶生长炉全文摘要为减少直拉式单晶生长炉的氩气消耗的技术问题所述电极柱分别穿过所述电极孔,排气口与气流导向装置的各通气孔相连通,气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。
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